气体质量流量控制器/气体质量流量计 MFC/MFM 型号 8741

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在当今的工业自动化领域，流量控制技术的重要性不言而喻。而要实现精准的流量控制，一款高性能的流量计是必不可少的。今天，我要为大家介绍的就是这样一款产品——基于热传导原理的流量计。

首先，让我们来了解一下这款流量计的工作原理。它利用热传导原理，通过热MEMS传感器直接测量气流中的温度变化。当气体流动时，内置加热元件的热量被气体带走，测温元件检测到温度变化（ΔT）。通过ΔT与气体质量流量的线性关系，结合PID控制算法，实时调节阀门开度，实现流量闭环控制。

这款流量计具有许多显著特点。首先，它的高精度和高重复性令人印象深刻。测量精度可达±0.8% o.R. ±0.3% F.S.，误差通常≤±1% F.S.，重复性达±0.2% F.S.。这意味着它能够提供非常精确的流量测量结果。

其次，响应时间极快。响应时间＜300ms，能快速对流量变化做出反应。这对于需要动态调节的场景来说至关重要。

此外，这款流量计还具有宽量程比和强大的通信功能。可调比为50:1，可选100:1，额定流量范围为0.010l/min至160l/min。同时，它可以配备工业以太网、模拟或现场总线接口。基于CANopen的系统总线（büS）版本可以方便地集成到现有的CANopen网络中。

在配置方面，这款流量计也非常灵活。可根据需要配置为MFM或MFC，设备最多可存储四条校准曲线。这意味着用户可以根据不同的气体或应用场景进行校准和切换。

应用场景广泛。在半导体、新能源、环保、科研、医疗及航空航天等领域都有其身影。例如在晶圆清洗、气相沉积（CVD）、刻蚀工艺中的气体输送控制，以及氢能系统中燃料电池的氢气流量控制等场景。

总之，这款基于热传导原理的流量计凭借其高精度、快速响应、宽量程比和强大通信功能等特点成为了工业自动化领域的佼佼者。对于追求精准流控的用户来说，它无疑是一个值得信赖的选择。

未来随着我国工业自动化水平的不断提升和行业对精准流控需求的日益增长，这类高性能流量计的市场前景将更加广阔。而对于我们这些从事相关领域工作的专业人士来说，深入了解这类产品的技术特点和应用场景无疑将有助于我们在工作中更好地应对挑战、提升效率。

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