层流压差式质量流量计：检漏仪的精密守护者

发布：2025-10-14 | 点击：人次

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在现代工业生产中，产品的密封性是保证性能和安全的关键。从汽车零部件到半导体设备，任何微小的泄漏都可能导致性能下降或安全隐患。因此，检漏仪作为一种检测密封性的关键设备，其核心传感器——流量计的性能至关重要。

层流压差式质量流量计凭借其工作原理和优异的性能，已成为高精度检漏仪的传感元件。这种流量计的核心在于其内部的层流元件，当气体流经这些细小通道时，在低雷诺数条件下形成稳定的层流状态。通过测量层流元件上下游的压差，结合对气体温度和压力的补偿，即可直接、准确地计算出流经传感器的气体质量流量。

在检漏仪中的应用场景中，层流压差式质量流量计可以用于直接泄漏测量和累积法检漏。在直接泄漏测量中，当测试气体通过存在泄漏的工件时，流量计会实时检测到稳定的质量流量值，即为该工件的泄漏率。这种方法直观、线性好，特别适用于泄漏率相对较大或需要定量精确测量的场合。

而在累积法检漏中，当工件存在微小泄漏时，流量计用于向腔内精确补充气体以维持腔内压力恒定。补充气体的质量流量即等于泄漏率。这种方法的精度较高，适用于微小泄漏或需要提高检测精度的场景。

层流压差式质量流量计具有以下核心优势：

1. 直接测量质量流量：无需进行复杂的温度和压力换算，结果更直接、准确。

2. 高精度与高分辨率：可检测到极微小的泄漏。

3. 宽量程比：既能测量较大的初始充气流量，也能精确测量微小的泄漏流量。

4. 优异的线性度：简化了信号处理和标定过程。

5. 响应速度快：对流量变化的响应迅速。

6. 对入口条件相对不敏感：适应性更强。

7. 结构相对简单可靠：抗冲击振动性能较好。